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显影液废水处理设备
液晶显示屏生产过程的显影工序排出高浓度显影液废液和低浓度显影液废水,通常将显影液废液作为危险废弃物委外处置,将低浓度的显影液废水排入工厂废水站与其它有机废水合并进行生化处理。
显影液废水的成分:
显影液废水中的污染物主要是四甲基氢氧化铵(Tetramethylammonium hydroxide, 简称TMAH)和少量溶解的光刻胶,其中TMAH浓度为400mg/L左右。TMAH是一种具有强碱性、腐蚀性及生物毒性的有机氮化合物,需对其进行去除总氮处理,以满足工厂废水站外排水中总氮指标的排放要求。
显影液废水处理方法及系统:
1、PH调节
在显影液废水中加入酸溶液,调节PH至7.5-8.5。
2、混凝沉淀
A )完成PH值调节后,在显影液废水中加入混凝剂,使析出的光刻胶凝聚为絮体;
B )然后再加入絮凝剂,使光刻胶絮体抱团,提高絮体的密实度;
C )静置沉淀1-2h,沉淀污泥排入工厂废水站污泥脱水系统处理,沉淀上清液待进一步处理。
3、超滤处理
通过超滤膜截留去除上清液中的颗粒状和胶体态杂质,得到超滤出水。
4、反渗透处理
对超滤出水进行反渗透处理,由反渗透膜截留显影液废水中的TMAH并对废水进行脱盐,其中,反渗透产水用于工厂循环冷却水补水或杂用水,富集了高浓度TMAH的反渗透浓水待后续步骤处理。
5、厌氧生化处理
对反渗透浓水进行厌氧生化处理,在厌氧微生物作用下,反渗透浓水中的TMAH分解转化为氨氮和甲烷气。
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